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半導體晶圓&光罩檢測儀組合式交換鏡頭組與支架
列印商品資訊

洽詢電話 : 02-25211972 / 03-6566306
客服信箱 : cs@mtoptics.com
 
 

半導體晶圓&光罩檢測儀組合式交換鏡頭組與支架組
可針對不同尺寸半導體製程治具與光罩精密度檢測用途,設定工作距離與放大倍率檢查,採用可交換鏡頭方式,具有多重功能及可適應性。



基本型配套:(影像需依據製程需求另外搭配)
·變倍主鏡放大率: 0.7×~4.5×
·攝影目鏡放大率: 0.5×
·工作距離: 95mm
·手轉輪焦距範圍: 60mm
·升降調節範圍:XDC-10A:250mm


臥式雙面儀晶圓光罩檢查機構
安裝方式示意圖




雙軸可調整方向高低,可精確對位校正設定,適合兩面貼合製程或品質檢查用。
上圖僅供參考,可依據實際晶圓或光罩大小,訂製平台與升降台尺寸。

選配:大型光罩檢查交換鏡頭支架

具有超高工作距離與延伸性,可輕易安置在實驗室或產線旁,不被物件大小限制,容易支撐高倍物鏡及影像裝置,進行快速檢查。




選配:小型IC晶片或遮罩片檢查微動台


具有精密的微動特性,可細微調整XY軸,達到測量距離與校正的功能,可輕易安置在基本型機台底座上,依據光罩大小與量測行程,決定要安裝的型號。





ZWT302 ZWT302B ZWT331 ZWT601
型式:滾珠導軌
台板尺寸:180×155×26 mm
行程:橫向 75mm,縱向 55mm
度數精度:0.1mm
連接尺寸: ø95
台板尺寸: 180×155×26 mm
移動範圍: 75×55 mm
玻璃圓臺直徑: ø95 mm(3600旋轉)
工作臺尺寸:140×140×36
連接尺寸:Φ95mm
工作臺方玻璃:Φ95mm
移動範圍:75mm×55mm
台板尺寸S: 10″×8″×1″
移動範圍: 100mm×100mm
玻璃平臺: Φ140mm


選配:半導體檢查用交換倍率輔助鏡頭


非常方便更換的特性,可改變所需要的倍率或改變工作距離,達到測量距離與校正的功能。



註:另外可選配攝影目鏡,可改變影像倍率卻不改變工作距離的模式,可依據需求搭配鏡頭。