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MICROTECH tm 量測工具顯微鏡簡介
應用範圍:適用於需精密量測之各產業 ,如IC載帶.PCB.導線架.LD模組電子零件.玻璃基版及各種精密加工零件等產業。
量測行程: 100mmX100mm,200mmX100mm,300mmX100mm。
光學尺: X,Y軸(Z軸選配),解析度0.001mm(0.0005mm選配)。
XYZ精度:U=(5+5L0/1000)um。
電腦硬體: CPU>1.4GHz,RAM256MB,HD>=40GB.光碟機.軟碟機.網路卡.顯示卡.鍵盤.光學滑鼠。
作業系統: Windows2000以上隨機版。
電腦螢幕: 15"TFT LCD。
取像系統: High Resolution DSP Color CCD Camera。
變焦鏡頭: ZOOM0.7~4.5X。
對焦系統: 光學輔助對焦及雷射輔助對焦系統 (雷射對焦選配)。
光源系統: 150W可調式環型光纖光源及50W輪廓光源。
光學尺解碼: 高速解碼單元。
操作方式:手動微調及無牙螺桿快速移動。
工作高度: 90mm。
外型尺寸: 500mmX450mmX550mm。
• 2.5D影像量測系統特點 •
管理權限設定 ,新增.移除使用者功能。
人性化的校正程序 ,確保量測精度。
完整的幾何量測功能 (含不規則面積),操作簡便快速量測。
藉由斜面座標及輔助對焦功能 ,來完成斜面工件量測(涵蓋Z軸數值)。
公英制單位切換 .比例尺及十字線屬性設定提供使用者設定專屬的量測環境。
所有的量測程序 (含報表),藉由巨集錄製功能,紀錄所有的量測程序,再開啟巨集指令,便可輕鬆又快速的量測。
藉由自動框選量測功能 ,提高量測重複性精度,減少人為誤差。
所有量測結果可直接列印 ,儲存或轉至EXCEL。
將量測樣品之重要特徵 (如轉折點及圓心)之座標及圖檔轉成AUTOCAD的DXF檔案格式。
提供自訂標準樣品圖檔做為比對圖形進行比對功能。
由座直角及極座標之座標轉換 (含座標平移),輕易量測相對位置。
提供特殊功能需求如平均線 .兩圓性質及矩形性質(夾角及長寬)。
彩色 .灰階模式可任意切換,方便操作與取像。
選擇 QC量測直接填入報表後,在匯入EXCEL作SPC管制,省去抄寫動作。
數位相機所拍攝的影像檔 ,亦可輕鬆量測。
藉由明亮對比或影像處理功能來突顯邊界 ,輕鬆完成量測。
雷射輔助對焦功能 (需搭配雷射系統),取代傳統人眼的對焦方式來達成精密之高度及深度量測,且,重複精度高(<5um)。
提供外接四組 CCD取像系統(最多)。
藉由 RS232介面,可連結各式工具顯微鏡及投影機。
   
Metice 量測系統與投影機比較
功能
Metice 量測系統
投影機
外觀尺寸
輕巧
笨重
鏡頭
變焦鏡頭
物鏡組更換
解析度
0.001m/m
0.001m/m
光學尺
標準配備 X-Y Table
選配
光學尺解碼器
自行開發並與系統整合為一,
節省成本與空間。
配合光學尺廠商所提供的解碼顯示器。
迴轉台
標準配備
選配
量測影像
背光物件輪廓量測,正向光物件實體量測皆為標準配備,並採用彩色 CCD數位攝影機,提供全彩影像畫面。
標準為背光輪廓量測,正向光實體量測必須選配偏光鏡頭,且為某些規格才能使用。
量測尺寸

標準機型為 100X100,200X100, 300X100,
其他尺寸接受訂製

只有幾種規格供選擇。
操作方式
Metice 專業量測軟體
藉由人工由投影面量測比對。
量測數據
自行設計報表,並將量測數據自動填入報表中,可列印報表或是將量測數據儲存於資料庫中,可供日後查詢及 SPC統計分析。
藉由人工將量測數據抄在紙張中。
系統管理
藉由操作權限設定及使用者管理,可限制只有合格的操作者方能操作,系統並會記錄操作者名稱及量測時間,以供日後查詢。
影像設定
使用者可藉由軟體隨時調整影像對比值及明亮度,達到最佳的影像效果。
儲存影像資料
使用者可將量測影像及量測數據資料儲存,提供協力廠商,製造單位及客戶參考。利用直接列印或是將影像資料直接匯入 Microsoft Word 及 Excel軟體,再透過 E-Mail寄發。
單位切換
提供 mm, um, inch 及 mil等四種單位切換,系統依不同單位計算並顯示數據。
人工自行換算。
量測功能
Metice專業量測軟體提供點,線,圓量測,並且能計算出半徑,直徑,兩點距離,點到線距離,兩線交點,兩圓交點,線圓交點,兩圓圓心距離及最近距離和最遠距離,兩點中點位置,點線中點位置,及求得等分線,並可計算夾角及曲線長度等功能。
人工自行計算基本長度。
製程統計分析
Metice專業量測軟體可將量測數據儲存於資料庫中,利用製程統計分析功能,提供製程中Cp, Cpk, X Bar Chart 及 R Chart 等統計數據,作為製程改進的依據,並且可將此製程統計分析報表列印出,或將數據資料匯入Excel中,讓使用者自行規劃統計項目。
量測位置指示器
系統包含一 Laser Indicater ,可指示出目前量測位置。
Laser輔助對焦系統
高度 /深度精準量測(重複精度<5um)。
使用擴充性
隨時提供新增功能,將量測儀器的擴充性提升到最佳境界,使用者可以得到最大的使用彈性。
網路連線
Metice量測系統可與公司內部網路連線,將量測資料及影像數據等藉由網路資源,提供給各個單位使用。
投資成本
提供使用者一次設備投資即可獲得完整功能,無須在花費資金購買各式各樣的選配物件。
需要購買許多光學配件,才能滿足使用者需求,非常耗費成本。
售後服務
每當軟體改版後,會將改版說明及升級軟體 Mail至客戶端,客戶可自行判斷是否升級。
不明
價格
低廉
需要各式選配品,整體價格昂貴。
正向光源
背光光源
※ 針對不熟悉軟體的提供者,提供簡易量測直接讀取光學尺,快速又簡便的量測,另提供雙十字線可比對重複性的圖形。
※ 光學校正、簡易量測、標準量測及逆向工程均提供對比及明亮調整,離開後既回到預設值,另輔助對焦功能可幫您獲得最輕晰影像。
對比明亮調整
簡易量測
輔助對焦
※ 使用手動影像處理來突顯邊界,提高明亮及對比,有助於提升量測精度。【LUT調整可輕易將雜訊去除,提高量測精度】
※ 當您想把影像及量測結果製成報告或E-mail與客戶溝通,可藉由文件編輯將結果匯至Excel或Word,快速完成。
※ 所有的量測數據以資料庫儲存,隨時提供報表查詢及製成統計分析如CP、CPK、X BAR CHART、R CHART及直方圖,亦可直接匯出至Excel。
報表查詢
X-BAR CHART
R CHART
直方圖
•實地攝影圖片•
Wafer晶圓電路-1
Wafer晶圓電路-2
 
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